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        1. 產品詳情
          • 產品名稱:單靶等離子濺射儀(基礎版)

          • 產品型號:TN-PSP180G-1TA
          • 產品廠商:泰諾
          • 產品文檔:
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          簡單介紹:
          單靶等離子濺射儀(基礎型)采用二極濺射方式,廣泛用于場發射掃描電鏡或透射電鏡樣品制備或高質量鍍膜試驗。該單靶等離子濺射儀(基礎型)是基于PLC的強大控制系統,全部觸摸屏操作,可手動、半自動控制、全自動控制。
          詳情介紹:

          ○ 產品介紹:

          TN-PSP180G-1TA 本型號小型等離子濺射儀,采用二級濺射方式,廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝,鍍膜過程中無高溫,不易產生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統,全部觸摸屏操作,體積小巧造型美觀,是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇。

          主要功能:

          1、精細、超精細離子濺射導電膜制備;專業級金屬膜層試驗。

          2、樣品等離子刻蝕清洗

          主要參數:

          樣品臺 尺寸 100mm

          到靶面距離 20-35mm 可調
          等離子濺射靶 數量 2英寸*1

          冷卻方式 自然冷卻
          真空腔體 腔體尺寸 φ180*210mm

          觀察窗口 全向可視

          腔體材料 高純石英

          開啟方式 頂蓋拆卸式

          上下蓋材料 304不銹鋼

          抽氣接口 KF16

          進氣接口 1/4英寸卡套接頭
          電源配置 數量 直流電源*1

          輸出功率 *大150W

          濺射電壓 1200V

          *大濺射電流 50mA
          真空系統 真空泵類型 雙極旋片真空泵

          抽氣接口 KF16

          抽氣速率 1.1L/s(4m3/h)

          極限真空度 ≥0.1Pa

          真空測量 電阻真空規
          其他 供電電源 AC220V 50Hz

          整機功率 1.5kW

          整機尺寸 500mm*320*470mm

          整機重量 30kg

          ○ 免責聲明 

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