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        1. 產品詳情
          • 產品名稱:三溫區CVD氣相沉積系統

          • 產品型號:
          • 產品廠商:泰諾
          • 產品文檔:
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          簡單介紹:
          該三溫區CVD氣相沉積系統主要用于真空燒結、氣氛保護性燒結、真空鍍膜 各種材料煅燒、需要溫度梯度的各種CVD實驗
          詳情介紹:

          ○ 產品介紹

          該三溫區CVD氣相沉積系統主要用于真空燒結、氣氛保護性燒結、真空鍍膜 各種材料煅燒、需要溫度梯度的各種CVD實驗。


          ○ 適用范圍

          主要用于真空燒結、氣氛保護性燒結、真空鍍膜 各種材料煅燒、需要溫度梯度的各種CVD實驗。


          ○ 產品特點

          1、造型優美 做工精細;
          2、測溫精準 控溫穩定;
          3、超高溫加熱元件 工作溫度可高達1650℃;
          4、產品豐富 有多種型號供您選擇。


          ○ 技術參數

          加熱溫度

          三溫區 獨立控溫

          密封方式

          水冷式真空法蘭

          溫區長度

          L:190mm;M:250mm;R:190mm;

          真空系統

          防返油式雙極旋片泵

          工作溫度

          L:1300℃;M:1600℃;R:1300℃;

          系統真空

          5~10Pa(如需更高真空度可選配其它泵)

          加熱爐管

          高純剛玉外徑60mm,長度1300mm

          制冷方式

          9L水冷機

          氣體通道

          三通道質量流量計

          控溫系統

          多段可編程智能控溫,控溫精度±1℃

          氣體量程

          A:100SCCM;B:300SCCM;C:500SCCM

          供電電源

          AC:220V 50Hz

          真空檢測

          進口數字真空計 

          備   注

          如有其它要求 可按要求定制


          ○ 免責聲明

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