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            1. 產品詳情
              • 產品名稱:單靶等離子濺射鍍膜儀(標準版)

              • 產品型號:TN-PSP180G-1TA-RS
              • 產品廠商:泰諾
              • 產品文檔:
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              簡單介紹:
              單靶等離子濺射鍍膜儀(標準版)配有旋轉樣品臺,能夠有效的提升鍍膜的均勻性?。該單靶等離子濺射鍍膜儀(標準版)可用于金屬濺射鍍膜,尤其適合金銀銅等貴金屬的鍍膜
              詳情介紹:

              TN-PSP180G-1TA-RS 小型單靶等離子濺射鍍膜儀(標準版-旋轉樣品臺)是我公司自主研發的一款高性價比等離子濺射鍍膜設備,具有結構緊湊,簡單易用,集成度高,旋轉樣品臺提高鍍膜均勻性。等離子濺射靶為2英寸的標準尺寸,客戶可以根據需要選擇1~3個靶的不同配置,以滿足鍍單層膜或者多種材料多層膜的不同實驗需求。儀器所配電源為150W直流高壓電源,可用于金屬濺射鍍膜,尤其適合金銀銅等貴金屬的鍍膜。


              產品名稱
              小型單靶等離子濺射鍍膜儀(標準版-旋轉樣品臺)
              產品型號
              TN-PSP180G-1TA-RS
              主要特點
              • 自主研發、高性價比
              • 具有結構緊湊,簡單操作
              • 旋轉樣品臺,鍍膜更均勻
              • 150W直流高壓電源,金屬濺射鍍膜
              技術參數
              1. 1、旋轉樣品臺:尺寸φ100mm;轉速:1-20rpm可調
              2. 2、直流濺射頭:數量2” ×1  
              3. 3、真空腔體:尺寸:φ180mm × 210mm、材料高純石英、全向透明、頂蓋拆卸式
              4. 4、真空系統:雙極旋片真空泵 ;抽氣速率:旋片泵:1.1L/S;極限真空:≥0.1Pa
                    抽氣/排氣接口:KF16; 真空測量:電阻規;
              5. 5、濺射電源配置:直流電源 ×1;max輸出功率:150W,濺射電壓1200V,*大濺射電流50mA
              產品規格
              尺寸500mm × 320mm × 470mm;重量30kg ;供電電壓:AC220V,50Hz;功率1500W

              1. 鍍膜儀配有通氣接口,可通入保護性氣體,若客戶需通入混合氣體,可聯系工作人員自行配置高精度質量流量計以滿足實驗需要。

              2.本鍍膜儀標配為雙極旋片真空泵,其具有體積小,抽真空快,操作簡單的優勢,若客戶有進一步提升真空度的需要,可以聯系技術人員選配分子泵組組成高真空系統。


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