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        1. 產品詳情
          • 產品名稱:1200℃單溫區3路浮子供氣低真空CVD系統

          • 產品型號:TN-O1200-50IT-3F-LV
          • 產品廠商:泰諾
          • 產品文檔:
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          簡單介紹:
          1200℃單溫區3路浮子供氣低真空CVD系統由單溫區管式爐、三路浮子流量計和雙極旋片真空泵組成。1200℃單溫區3路浮子供氣低真空CVD系統 采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握。
          詳情介紹:

          TN-O1200-50IT-3F-LV 1200℃單溫區3路浮子供氣低真空CVD系統由單溫區管式爐、三路浮子流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐由精密控溫儀表進行PID控溫,可編輯30段升降溫程序,同時有過熱和斷偶保護功能。爐管兩側法蘭配有數字式真空計和機械式壓力表,可以用來控制爐管內的氣氛環境。同時管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實驗效率。1200單溫區3路浮子供氣低真空CVD系統所配有的三路浮子流量計,可以混合1~3路氣體,準確的配制出實驗所需的混合氣體;另有壓力表安裝在浮子流量計正面,可以監測氣體壓力及混合槽壓力。


          應用范圍:高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。


          名稱  1200單溫區3路浮子供氣低真空CVD系統
          型號 TN-O1200-50IT-3F-LV
          參數
          1. 1、供電電源:AC:220V 50/60Hz
          2. 2、爐管  材質:高純石英; 尺寸:直徑50mm(可選配60mm、80mm、100mm)、長度800mm(爐膛長度:440mm)
          3. 3、加熱區:長400mm;  恒溫區:長200mm
          4. 4、工作溫度:0~1100℃; 控溫精度:±1℃; 
          5. 5、控溫模式:30段或50段程序控溫
          6. 6、顯示模式:LCD
          7. 7、密封方式 :304不銹鋼真空法蘭 ;法蘭接口:1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭
          8. 8、可抽真空:4.4E-3Pa
          1. 9、供氣系統:TN-3F 3通道氣體通道
                 測量部件:氣體浮子流量計
                 測量量程:A通道:0~100ml/min   H2氣
                                 B通道:16~160ml/min  N2氣
                                C通道:25~250ml/min   Ar氣
             備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需特別注明。根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。
                測量精度:±1.0%F.S
                管道耐壓:3MPa
                工作壓差:50~300KPa
                連接管道:304不銹鋼
                控制閥門:304不銹鋼針閥
                接口規格:進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭
                供電電源:AC:220V 50/60Hz

          2. 10、排氣系統:產品型號TN-GZK103-A
                 旋片泵
                 抽氣速率: 旋片泵:1.1L/S
                 排氣抽氣接口:KF16
                 真空測量復合真空計:電阻規
                 極限真空:1.0E-1Pa
                 供電電源:AC220V 50/60Hz


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