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            1. 產品詳情
              • 產品名稱:桌面型單靶磁控鍍膜儀

              • 產品型號:CY-MSP180S-DC-GU
              • 產品廠商:泰諾
              • 產品文檔:
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              簡單介紹:
              本設備為桌面型單靶磁控鍍膜儀。設備經過小型化設計,將設備外形限制在了桌面級別,大大減少了安裝場地需求。設備配有一個直流電源,能夠用于濺射金屬材料,具有速度快溫升低等特點。真空腔體整體采用下置靶設計,濺射效果好,雜質污染少,能*大限度的保護樣品。
              詳情介紹:

              本設備為桌面型單靶磁控鍍膜儀。設備經過小型化設計,將設備外形限制在了桌面級別,大大減少了安裝場地需求。設備配有一個直流電源,能夠用于濺射金屬材料,具有速度快溫升低等特點。真空腔體整體采用下置靶設計,濺射效果好,雜質污染少,能*大限度的保護樣品。

              桌面型靶下置型磁控鍍膜技術參數:

              CY-MSP180S-DC-GU

              樣品臺

              尺寸

              φ100mm

              加熱

              *高500

              轉速

              0-20可調

              安裝方式

              上置于腔體上蓋,樣品安裝為夾持式

              磁控濺射靶

              數量

              2” x1 下置安裝與腔體下法蘭

               

               

              真空腔體

              腔體尺寸

              φ180mm X 215mm

              觀察窗口

              前置式 φ60mm

              腔體材料

              SS304

              開啟方式

              上頂開式

              真空系統

              機械泵

              旋片泵

              抽氣接口

              KF16

              分子泵

              渦輪分子泵

              抽氣接口

              KF40

              真空測量

              電阻規+電離規

              排氣接口

              KF16

              極限真空

              1.0E-4Pa

              供電電源

              AC 220V 50/60Hz

              抽氣速率

              機械泵1.1L/s  分子泵60L/s

              電源配置

              數量

              直流電源 x1

              *大輸出功率

              直流電源300W

               

              其他

              供電電壓

              AC220V,50Hz

              整機尺寸

              550mm X 350mm X400mm

              整機功率

              2kW

               

               

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